微量氧氣分析儀是對惰性氣體、碳氫氣體、He、H2、CO2中的氧含量進行PPM分析，是測量H2、N2、Ar、He、乙炔、乙烯、丁二烯、CO2、CnHm及其它氣體中氧含量的理想儀器。
應用：
空氣液化和分離。
石油化工、電子電力等行業中高純氧的分析。
空分高純氧監測。
冶煉行業。
醫療衛生行業。
微電子、半導體、航天等領域。
制氫/制氮/C02設備，凈化/干燥設備等。
微量氧的分析方法主要有比色法、化學電池法、黃磷發光法、濃差電池法和氣相色譜法。化學電池法的微量氧分析儀指的利用氧化還原電池的原理進行微量氧分析，它的傳感器（檢測器）是化學原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。
干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，最近又發現微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。
