高純氧氣分析儀的核心原件是一個(gè)電化學(xué)氧氣傳感器。常見的電化學(xué)氧氣傳感器由一個(gè)傳感電極（或工作電極）和一個(gè)對(duì)電極組成，兩個(gè)電極間有一層薄薄的電解液。要檢測(cè)的氣體先通過(guò)一個(gè)小的毛細(xì)口傳感器，然后通過(guò)一個(gè)疏水膜擴(kuò)散進(jìn)入，最終到達(dá)電極表面。傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證會(huì)有適量的氣體進(jìn)入與感應(yīng)電極反應(yīng)產(chǎn)生足夠的電信號(hào)，并同時(shí)防止電解液泄漏出傳感器。通過(guò)疏水膜擴(kuò)散進(jìn)入傳感器里的氣體在感應(yīng)電極發(fā)生氧化/還原反應(yīng)，電極間連接一個(gè)電阻，這樣，陰極和陽(yáng)極間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)與氧濃度成正比的電流。通過(guò)檢測(cè)這個(gè)電流，就反應(yīng)出氣體中的氧濃度。
高純氧氣分析儀在測(cè)量蒸汽時(shí)先從差壓信號(hào)得到流量值，再?gòu)恼羝麥囟群蛪毫χ当淼玫矫芏龋?jì)算蒸汽流量質(zhì)量。關(guān)于氧氣分析儀安裝時(shí)雷諾數(shù)的修正，分析儀的流動(dòng)系數(shù)與雷諾數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)質(zhì)量流體發(fā)生變化時(shí)，雷諾數(shù)發(fā)生反比變化，導(dǎo)致流動(dòng)系數(shù)的變化。
氧氣分析儀的種類較多，檢測(cè)原理各異，針對(duì)性強(qiáng)，因此應(yīng)根據(jù)不同使用場(chǎng)合、不同工藝狀況選擇合適的儀表。從而將各種燃燒設(shè)備的燃燒狀態(tài)控制在佳狀態(tài)，能有效地節(jié)約各種燃料（如原煤、石油、天然氣、煤氣等），控制設(shè)備平穩(wěn)、經(jīng)濟(jì)運(yùn)行，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命；同時(shí)還可降低排煙“黑度”，減少排煙粉塵和SOX等有害氣體。氧氣分析儀可監(jiān)測(cè)氣體溫度和壓力等參數(shù)，且美觀大方，操作使用非常方便，得益于高性能進(jìn)口傳感器，整機(jī)保持了一貫高精度、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)。
